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北方华创申请丈量安拆及半导体工艺设备专利简


  金融界2025年1月25日动静,国度学问产权局消息显示,公开号CN 119340243 A,申请日期为2024年10月。专利摘要显示,本申请公开了一种丈量安拆及半导体工艺设备,属于丈量手艺范畴。丈量安拆使用于半导体工艺腔室,半导体工艺腔室包罗旋起色械手和沿旋起色械手的扭转轴的周向平均设置的至多两个加工工位,每一加工工位均设有一个基座,丈量安拆包罗扭转丈量机构,扭转丈量机构包罗扭转板和第一丈量组件,扭转板用于取旋起色械手毗连,第一丈量组件用于丈量每个基座的核心的。该方案中,通过旋起色械手带动扭转丈量机构正在各个加工工位之间扭转,使对各个加工工位的基座的核心的进行丈量,无需频频拆拆丈量安拆,可简化丈量操做和减小或消弭安拆误差,有益于提高丈量精度和精确性。天眼查材料显示,北方华创微电子配备无限公司,成立于2001年,位于市,是一家以处置电气机械和器材制制业为从的企业。企业注册本钱114153。708311万人平易近币,实缴本钱114153。708311万人平易近币。通过天眼查大数据阐发,北方华创微电子配备无限公司共对外投资了8家企业,参取招投标项目1000次,学问产权方面有商标消息36条,专利消息5000条,此外企业还具有行政许可339个。出格声明:以上内容(若有图片或视频亦包罗正在内)为自平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅供给消息存储办事。20岁中国留学生正在俄失联超100小时,家眷:失联前表情不是很好,人和手机不见了,护照还留正在居处《Apex豪杰》文化圆桌——预备驱逐“超能进化”/从坐 商城 论坛 自运营 登录 注册 《Apex豪杰》文化圆桌——预备驱逐“超能进化” 海星罐头。。。【预告】11月7日丨南方教研大课堂第165场:开展跨学科海洋地舆研学 培育学生海洋文明认识?。





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